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J-GLOBAL ID：200903066630909879

X線強度モニタ及びそのX線強度モニタを用いるX線利用装置

Inventor： 松井 哲也 ,  粉川 信好
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998308061
Publication number (International publication number)：2000131439
Application date： Oct. 29, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：

【要約】【課題】被照射対象に照射するX線量を、簡便かつ精度良く迅速に測定可能なX線強度モニタを提供する。【解決手段】X線2を集光・照射する反射ミラー5と、そのミラー5にX線が入射した際に、反射されずにミラーに吸収されたX線成分が熱化することにより発生する音波を検出する音響検出器6とを備えるX線強度モニタであって、被照射対象へのX線を照射するビームラインを通過するX線の強度を瞬時に測定できる。

Claim (excerpt)：

X線を集光・照射する反射ミラーと、そのミラーにX線が入射した際に、反射されずにミラーに吸収されたX線成分が熱化することにより発生する音波を検出する音響検出器とを備えるX線強度モニタ。

IPC (6)：

G01T 1/16 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027 ,  H05G 1/26 ,  G21K 7/00

FI (7)：

G01T 1/16 B ,  G21K 1/06 A ,  G21K 1/06 M ,  G21K 5/02 X ,  H05G 1/26 E ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/30 531 Z

F-Term (16)：

2G088EE30 ,  2G088FF02 ,  2G088GG16 ,  2G088GG25 ,  2G088JJ08 ,  2G088LL06 ,  2G088LL08 ,  4C092AA06 ,  4C092AB11 ,  4C092AB27 ,  4C092AC09 ,  5F046DB01 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GB07 ,  5F046GC03