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J-GLOBAL ID:200903066632413161

微小物品の保持装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 櫻井 俊彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994205957
Publication number (International publication number):1996052679
Application date: Aug. 08, 1994
Publication date: Feb. 27, 1996
Summary:
【要約】〔目的〕 半導体ペレットなどの微小物品を確実に保持できる保持装置を提供する。〔構成〕 移送装置(A) に保持される筒体(11)と、この筒体(11)内にその軸線方向に摺動自在に保持される摺動体(12)と、この摺動体(12)の下面の周辺部から外側に向けて斜めに突出する根元部分とこの根元部分から屈曲して摺動体(12)の中心部の直下に向けて延長される先端部分とを有する複数の弾性爪状体(14a,14b)と、摺動体(12)を摺動させる摺動機構(15,16) と、筒体(11)の下部内壁面に形成され各弾性爪状体(14a,14b)のそれぞれを上方への変位量に応じた量だけ内側に押圧して変位させる押圧変位機構(11a) とを備える。
Claim (excerpt):
移送装置に保持される筒体と、この筒体内にその軸線方向に摺動自在に保持される摺動体と、この摺動体の下面の周辺部から外側に向けて斜めに突出する根元部分とこの根元部分から屈曲し前記摺動体の中心部の直下に向けて延長される先端部分とを有する複数の弾性爪状体と、前記摺動体を摺動させる摺動機構と、前記各爪状体をそれぞれの上方への変位量に応じた量だけ内側に押圧して変位させる押圧変位機構とを備えたことを特徴とする微小物品の保持装置。
IPC (2):
B25J 15/06 ,  B25J 7/00

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