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J-GLOBAL ID：200903066637557463

ガラス基板およびその製造方法

Inventor： 大吉 啓司 ,  田上 高志 ,  田中 修平
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991246097
Publication number (International publication number)：1993085777
Application date： Sep. 25, 1991
Publication date： Apr. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高いアルカリ金属の拡散阻止効果を有し、製造コストが安価なガラス基板およびその製造方法を提供する。【構成】 ガラス基板1の上方から窒素と珪素をイオン注入し、窒化珪素層2を形成する。次にリンと酸素のイオン注入により窒化珪素層より浅い領域にリン珪酸ガラス層3を形成する。

Claim (excerpt)：

アルカリ金属を含んだ珪酸塩ガラスからなるガラス基板の内部でその表面近くに、窒化珪素層を形成し、該窒化珪素層より基板表面側にリン珪酸ガラス層を形成したことを特徴とするガラス基板。

IPC (4)：

C03C 17/34 ,  C03C 21/00 ,  C23C 14/06 ,  H01L 23/15