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J-GLOBAL ID：200903066653028225

レジスト組成物

Inventor： 松野 修吾 ,  阿部 信紀 ,  和田 泰昌
Applicant, Patent owner： 日本ゼオン株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994187833
Publication number (International publication number)：1996029985
Application date： Jul. 18, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】【目的】 新規な感放射線性レジスト組成物を提供する。【構成】 樹脂結合剤と酸発生剤とを含有する放射線感応性組成物であって、樹脂結合剤が樹脂中の少なくとも一部のヒドロキシル基の水素原子が次式(1)-COCOOR1または(2)-C(R2)(R3)COCOOR1(式(1)および(2)中、共通してR1は炭素数1〜10のアルキル基、アルケニル基、1-アルコキシアルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可2-プロペニル基、置換可シクロアルケニル基、置換可シクロアルカジエニル基、置換可ビニル基、トリアルコキシメチル基であり、R2およびR3は同一または互いに異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜5のアルキル基、シアノ基である。)で表される少なくともひとつの基によって置換されているフェノール系樹脂であることを特徴とするレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

樹脂結合剤と酸発生剤とを含有する放射線感応性組成物であって、樹脂結合剤が樹脂中の少なくとも一部のヒドロキシル基の水素原子が次式(1)-COCOOR1または(2)-C(R2)(R3)COCOOR1(式(1)および(2)中、共通してR1は炭素数1〜10のアルキル基、アルケニル基、1-アルコキシアルキル基、置換可シクロアルキル基、置換可2-プロペニル基、置換可シクロアルケニル基、置換可シクロアルカジエニル基、置換可ビニル基、トリアルコキシメチル基であり、R2およびR3は同一または互いに異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜5のアルキル基、シアノ基である。)で表される少なくともひとつの基によって置換されているフェノール系樹脂であることを特徴とするレジスト組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/023 511 ,  H01L 21/027