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J-GLOBAL ID：200903066721523736

微細粒状スペーサの散布方法

Inventor： 西嶋 啓
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992233960
Publication number (International publication number)：1994082796
Application date： Sep. 02, 1992
Publication date： Mar. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 微細粒状スペーサの散布方法に関し、プロッキングスペーサとしみ模様をなくすことを目的とする。【構成】 多数の微細粒状スペーサ4を懸濁する液体26の気化促進温度に加熱したチャンバ8内において、スペーサ4を散布すべき基板2の上方に対向するノズル9より基板2に向けてスペーサ4を懸濁した懸濁液27を噴射せしめると共に、ノズル9の近傍においてほぼ水平方向に噴射する圧気31をノズル9より噴射した懸濁液27に向けて噴射するように構成する。

Claim (excerpt)：

多数の微細粒状スペーサ(4) を懸濁する液体(26)の気化促進温度に加熱したチャンバ(8) 内において、該スペーサ(4) を散布すべき基板(2)の上方に対向するノズル(9) より該基板(2) に向けて該スペーサ(4) を懸濁した懸濁液(27)を噴射せしめると共に、該ノズル(9) の近傍においてほぼ水平方向に噴射する圧気(31)を該ノズル(9) より噴射した該懸濁液(27)に向けて噴射することを特徴とする微細粒状スペーサの散布方法。