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J-GLOBAL ID：200903066736161288

荷電ビーム装置の画像観察モードの設定方法及び装置

Inventor： 尾形 文夫 ,  小浜 禎晃
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991357032
Publication number (International publication number)：1993174767
Application date： Dec. 25, 1991
Publication date： Jul. 13, 1993
Summary：

【要約】【目的】 荷電ビーム装置の画像観察用のモード設定条件を簡単に設定する。【構成】 複数の登録番号スイッチ部9A〜9Cの中から任意のスイッチ部を選択し、この選択されたスイッチ部に関して数値部11〜13に設定された荷電ビーム装置の画像観察用のモード設定条件を内部のメモリに記憶させる。次にその選択されたスイッチ部が指定されたときに、その指定されたスイッチ部に対応して記憶されている画像観察用のモード設定条件を荷電ビーム装置に設定する。

Claim (excerpt)：

複数の登録番号の中から任意の登録番号を選択し、該選択された登録番号に関して荷電ビーム装置の画像観察用のモード設定条件を登録し、次に前記選択された登録番号が指定されたときに、前記選択された登録番号について登録された前記画像観察用のモード設定条件を前記荷電ビーム装置に設定する事を特徴とする荷電ビーム装置の画像観察モードの設定方法。

IPC (2)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-220341
  
• 特開昭53-114663
  
• 特開昭62-254350
  
• 特開平3-145045