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J-GLOBAL ID：200903066753415390

ペルフルオロシクロブタン基を含有する光画像形成ポリマー

Inventor： バッブ,デビッド エー. ,  リッチェイ,ダブリュ.フランク ,  クレメント,キャサリーン エス. ,  モイヤー,エリック エス. ,  ソレンソン,マリアス ダブリュ.
Applicant, Patent owner： ザ ダウ ケミカル カンパニー
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994515164
Publication number (International publication number)：1996505168
Application date： Dec. 01, 1993
Publication date： Jun. 04, 1996
Summary：

【要約】ポリマーは少なくとも1個の光活性サイトおよび1個より多くのペルフルオロシクロブタン基を有する。光活性サイト若しくは光活性プリカーサーおよび少なくとも1個のペルフルオロビニル基を含む新規のモノマーはこのようなポリマーを製造するのに有用である。このようなポリマーおよびモノマーを製造する方法を開示する。このポリマーは、コーティング、フォトレジストおよび他の光活性用途に有用である。

Claim (excerpt)：

少なくとも1個の光活性サイトおよび1個より多くのペルフルオロシクロブタン基を含むポリマー。

IPC (6)：

C08F 14/18 MKS ,  C08F 16/32 MKZ ,  C08F 16/32 MLA ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027