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J-GLOBAL ID：200903066796430016
レーザ加工装置及びレーザ加工方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：
渡邉 勇
, 堀田 信太郎
, 小杉 良二
, 森 友宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003323682
Publication number (International publication number)：2005088038
Application date： Sep. 16, 2003
Publication date： Apr. 07, 2005
Summary：
【課題】レーザ導波手段の終端に配置されるレーザ光出射部への加工屑の付着を防止し、加工の高速化及び精密な微細加工を行うことができるレーザ加工装置及びレーザ加工方法を提供する。【解決手段】本発明に係るレーザ加工装置は、レーザ光を発生させるレーザ光源1と、被加工物2を保持する保持部3と、被加工物2と保持部3とを液中に浸漬させる容器4と、レーザ光をレーザ光源1から被加工物2まで導くレーザ導波手段5と、レーザ導波手段5のレーザ光出射部10と被加工物2との間に配置された保護部材15とを備え、保護部材15はレーザ光を透過させる材料から構成される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
レーザ光を発生させるレーザ光源と、
被加工物を保持する保持部と、
前記被加工物と前記保持部とを液中に浸漬させる容器と、
レーザ光を前記レーザ光源から前記被加工物まで導くレーザ導波手段と、
前記レーザ導波手段のレーザ光出射部と前記被加工物との間に配置された保護部材とを備え、
前記保護部材はレーザ光を透過させる材料から構成されることを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (6)：
4E068CA17
, 4E068CD08
, 4E068CG05
, 4E068CH07
, 4E068CH08
, 4E068CJ07
Cited by applicant (1)
-
紫外パルスレーザ光を用いた水中加工装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-295537
Applicant：石川島播磨重工業株式会社
Cited by examiner (1)
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液中レーザ加工装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-160829
Applicant：株式会社小松製作所
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