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J-GLOBAL ID：200903066842263650
固体撮像素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993147645
Publication number (International publication number)：1995014997
Application date： Jun. 18, 1993
Publication date： Jan. 17, 1995
Summary：
【要約】【目的】 マイクロ集光レンズの対物レンズによるF値依存、シェーディング等の低減、並びに斜めの入射光で問題となっていたスミアの発生の低減を図る。【構成】 シリコン基板1の表面に、イメージエリアを構成する多数の受光部2が形成され、これら受光部2を含む全面に平坦化膜3が形成され、更に平坦化膜3上において、各受光部2に対応した位置にマイクロ集光レンズ4が形成されたイメージセンサにおいて、各マイクロ集光レンズ4上に中間層5を挟んでその上部に第2のレンズ層6を形成し、特に、撮像領域の周辺部に、各マイクロ集光レンズに対応して光発散特性を有する凹レンズ形状の部材(マイクロ凹レンズ)7を一体に形成して構成する。この場合、マイクロ集光レンズ4、マイクロ凹レンズ及び中間層の屈折率をそれぞれn1 、n2 及びn3 としたとき、n1 >n3 ,n2 >n3 ,及びn3 ≧1とする。
Claim (excerpt)：
多数の受光部が配列されて構成された撮像領域の各受光部上に、それぞれマイクロ集光レンズが形成された固体撮像素子において、上記マイクロ集光レンズ上に、中間層を介して上部層が形成され、上記上部層中、少なくとも周辺部の上面に、入射光を鉛直方向に屈折させる屈折部材が一体に形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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