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J-GLOBAL ID：200903066843275865

研磨工具とその製造方法

Inventor： 渡邊 孝二 ,  伊藤 浩信
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992344247
Publication number (International publication number)：1994179166
Application date： Dec. 24, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 硬質炭素膜を成膜した工具の表面に、研磨中に発生する切り粉を排出する複数の溝を形成することにより、遊離砥粒を用いた研磨と同等、あるいはそれに近い研磨効果と、ワーク加工面のスクラッチ発生を抑制することを目的とする。【構成】 工具母材2表面にレジスト4を塗布後、マスクを用いてレジスト4を露光する。これにより工具母材2の表面にレジスト4がない0.2mmの幅の模様を形成する。ダイヤモンドスラリーが入っている容器に工具母材2を入れ、超音波をかけ、レジスト4がついていない部分の工具母材2の表面に傷入れを施した後、レジスト4を剥離、液を用いてマイクロ波プラズマCVD法で傷入れ処理部に硬質炭素膜1を形成した研磨工具5及びその製造方法。

Claim (excerpt)：

工具母材表面に硬質炭素膜を選択的に成膜し、前記硬質炭素膜間に硬質炭素の膜厚による複数の溝を形成してなる研磨工具。

IPC (4)：

B24B 37/04 ,  B24D 3/00 330 ,  B24D 3/00 340 ,  B24D 7/00