Pat
J-GLOBAL ID：200903066859640873
アライメント方法とその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992110318
Publication number (International publication number)：1993302825
Application date： Apr. 28, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：
【要約】【目的】 構成が簡単で、射出光軸と反射光軸のアライメントを極めて容易に行うことの出来る方法及び装置を提示する。【構成】 レーザビームを発する光源と、このレーザビームの光路中挿脱可能に設けられた回折パターン生成素子と、物体で反射したレーザビームの戻り光路中に指標パターンを挿脱可能に設け、回折パターンが指標パターン上で所定の位置に来るように反射手段を調整することにより、物体との位置合わせを行うようにした光学系のアライメント方法と装置である。
Claim (excerpt)：
レーザビームを物体に向けて照射し、物体または物体に取付けた反射手段により反射したレーザビームを受けて測定・検査を行う光学装置のアライメント方法において、物体に向けて照射されるレーザビームの光路上に回折パターンを発生させるパターン生成素子を配置すると共に、物体からの反射ビームが入射すべき位置に指標パターンを設け、前記回折パターンが前記指標パターン上で所定の位置に来るように前記物体または反射手段を調整することにより物体との位置合わせを行うようにした光学装置のアライメント方法。
IPC (2)：
Return to Previous Page
