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J-GLOBAL ID：200903066881747738

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： 河辺 保雅
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998230831
Publication number (International publication number)：2000066398
Application date： Aug. 17, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：

【要約】【課題】 露光光源として、深紫外線、特にArFエキシマレーザー光を用いた場合、残膜率、レジストプロファイル及びドライエッチング耐性が優れるとともに、現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線の照射により酸を発生する化合物、(C)含硫黄有機低分子化合物、(D)含窒素塩基性化合物、(D)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤,並びに(F)溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物が提供される。

Claim (excerpt)：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線の照射により酸を発生する化合物、(C)含硫黄有機低分子化合物、(D)含窒素塩基性化合物、(E)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤、並びに(F)溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (28)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA09 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB06 ,  2H025CB52 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H097AA03 ,  2H097CA12 ,  2H097CA13 ,  2H097CA15 ,  2H097CA16 ,  2H097CA17 ,  2H097FA03 ,  2H097LA09 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12