Pat

J-GLOBAL ID：200903066894568646

超微粒子の調製方法

Inventor： 竹井 弘之
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997148935
Publication number (International publication number)：1999001703
Application date： Jun. 06, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】任意の金属,合金,半導体の微粒子を簡便に製造する。【解決手段】ポリスチレン球など微小球の半面に真空蒸着することにより、球表面に微粒子を形成する。

Claim (excerpt)：

平坦な基板上に、粒径が高精度で揃った超微小球を重ならない様に分散させ、超微小球の上に金属および/または半導体を蒸着することにより、球の上に金属、および半導体の超微粒子を形成することを特徴とする超微粒子の調製方法。

IPC (6)：

B22F 1/02 ,  B01J 19/00 ,  B22F 9/02 ,  C23C 14/00 ,  G01N 1/28 ,  H01L 21/02

FI (6)：

B22F 1/02 Z ,  B01J 19/00 N ,  B22F 9/02 A ,  C23C 14/00 A ,  H01L 21/02 Z ,  G01N 1/28 T