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J-GLOBAL ID：200903066902511420
エッチング液
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤井 紘一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997316613
Publication number (International publication number)：1999140669
Application date： Nov. 04, 1997
Publication date： May. 25, 1999
Summary：
【要約】【課題】 液の茶色への変色、黒色物質の沈殿、難溶性物質の生成等を生じることなく過酸化水素等の自然分解を抑制できるエッチング液を提供する。【解決手段】 主剤として硫酸等のオキソ酸と過酸化水素からなるエッチング液、あるいは、上記主剤に助剤としてベンゾトリアゾール等のベンゼン環を有する複素環式化合物と塩化カリウム等のハロゲン化物を含むエッチング液に、安定剤としてメタンスルフォン酸等のアルカンスルフォン酸、エタノールスルフォン酸等のアルカノールスルフォン酸または乳酸等のヒドロキシ酸の少なくとも1種を用い、これら主剤、助剤および安定剤を配合してエッチング液を構成した。
Claim (excerpt)：
過酸化物群から選ばれた過酸化物若しくはその誘導体、および、下記の化学式1で表されるオキソ酸群から選ばれた酸若しくはその誘導体を有する主剤と、アルカンスルフォン酸群、アルカノールスルフォン酸群、ヒドロキシ酸群から選ばれた酸若しくはその塩類を有する安定剤と、を含むことを特徴とするエッチング液。【化1】
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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