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J-GLOBAL ID:200903066936444586

表面処理方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小島 隆司
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993305876
Publication number (International publication number):1995132554
Application date: Nov. 11, 1993
Publication date: May. 23, 1995
Summary:
【要約】【構成】 所用のガス存在下において、大気圧又はその近傍の圧力中で印加電極と接地電極との間に電圧を印加してグロープラズマを発生させ、被処理物表面を大気圧プラズマ法により処理する表面処理方法において、被処理物を上記電極間の放電部分と離間した位置に配置することを特徴とする表面処理方法を提供する。【効果】 本発明によれば、被処理物の形状や大きさに制約が少なく、大気圧グロープラズマを用いて各種材料の表面処理を効率よく行うことができる。また、被処理物を電極から十分に離した状態でも表面処理することができるので、放電装置の設計、処理条件などの自由度が大きいという利点がある。
Claim (excerpt):
所用のガス存在下において大気圧又はその近傍の圧力中で印加電極と接地電極との間に電圧を印加してグロープラズマを発生させ、被処理物表面を大気圧プラズマ法により処理する表面処理方法において、被処理物を上記両電極間の放電部分と10mm以上離間した位置に配置することを特徴とする表面処理方法。
IPC (3):
B29C 59/14 ,  B29K 21:00 ,  B29K105:24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開平4-358076

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