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J-GLOBAL ID：200903066960241696
ウエハの洗浄処理方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森 哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993143859
Publication number (International publication number)：1995006990
Application date： Jun. 15, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：
【要約】【目的】ウエハに付着した金属不純物と微粒子を同時に除去することが可能なウエハの洗浄処理方法を提供する。【構成】酸化力を有する溶液と、酸化膜をエッチングする溶液と、pH調整溶液と、からなる混合溶液中で、ウエハを洗浄する。
Claim (excerpt)：
酸化力を有する溶液と、酸化膜をエッチングする溶液と、pH調整溶液と、からなる混合溶液中で、ウエハを洗浄する工程を備えたことを特徴とするウエハの洗浄処理方法。
IPC (2)：
H01L 21/304 341
, C11D 7/02
