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J-GLOBAL ID：200903066983374723

六弗化硫黄ガス回収再生装置

Inventor： 皆川 忠郎 ,  川畑 高志
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 宮田 金雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998187561
Publication number (International publication number)：2000015039
Application date： Jul. 02, 1998
Publication date： Jan. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】 純度の高いSF6ガスを効率良く確実に回収できる六弗化硫黄ガス回収再生装置を得る。【解決手段】 SF6ガスを封入した電気機器容器1から排出された混合ガスを、固体不純物除去フィルタ9、分解ガス除去フィルタ12、水分除去フィルタ13および非凝縮性ガス除去部14を通過させることによって混合ガスに含まれる不純物を除去する。特に、上記非凝縮性ガス除去部14内には、非凝縮性ガスとSF6ガスとで透過率の異なるガス分離膜14aを設け、透過速度の速い非凝縮性ガスが選択されてガス分離膜14aを透過するようにし、SF6ガスの純度を上げる。

Claim (excerpt)：

絶縁媒体として六弗化硫黄ガスを封入した電気機器内から排出される上記六弗化硫黄ガスと不純物との混合ガスを回収する手段、回収した混合ガスから窒素、酸素等の非凝縮性ガスを除去する手段、上記混合ガスから上記非凝縮性ガスを除去して得られた六弗化硫黄ガスを液化させる手段、および液化した六弗化硫黄ガスを気化する手段を備え、気化した六弗化硫黄ガスを上記電気機器内に再度封入する六弗化硫黄ガス回収再生装置において、上記非凝縮性ガスを除去する手段としてガス分離膜を用いたことを特徴とする六弗化硫黄ガス回収再生装置。

F-Term (36)：

4D006GA42 ,  4D006HA21 ,  4D006HA24 ,  4D006HA27 ,  4D006JA16A ,  4D006JA19A ,  4D006JA52A ,  4D006JA57A ,  4D006JA63A ,  4D006KA02 ,  4D006KA12 ,  4D006KA63 ,  4D006KA64 ,  4D006KA67 ,  4D006KA68 ,  4D006KA72 ,  4D006KB14 ,  4D006KB30 ,  4D006KE07P ,  4D006KE08P ,  4D006KE12P ,  4D006KE13P ,  4D006KE22P ,  4D006KE24P ,  4D006MA02 ,  4D006MC02 ,  4D006MC04 ,  4D006MC37 ,  4D006MC45 ,  4D006MC48 ,  4D006MC58 ,  4D006MC65 ,  4D006PB20 ,  4D006PB62 ,  4D006PB63 ,  4D006PC80

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• パーフルオロ化合物ガスの分離および回収方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-187877   Applicant：レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
• 特公平5-078718
  
• 特開昭53-051183
  
• 特開平1-203096