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J-GLOBAL ID：200903067000057226

微小バルブ

Inventor： 王 新明 ,  賈 明洋 ,  桧山 浩国
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999314980
Publication number (International publication number)：2001132861
Application date： Nov. 05, 1999
Publication date： May. 18, 2001
Summary：

【要約】【課題】 マイクロマシン等の微細流路用の流量制御素子として、構造が簡単で且つ制御が容易であり、更に交換修理も可能な微小バルブを提供する。【解決手段】 微細流路8と、流路内に配置され流路を開放又は閉塞する微小弁体10とからなり、微小弁体10は、電気分極性を有する強磁性超微粒子1及び反磁性超微粒子2とを分散させたコロイド溶液を、微小カプセル4に内包したものである。

Claim (excerpt)：

微細流路と、該流路内に配置され該流路を開放又は閉塞する微小弁体とからなり、該微小弁体は、電気分極性を有する強磁性超微粒子及び反磁性超微粒子とを分散させたコロイド溶液を、微小カプセルに内包したものであることを特徴とする微小バルブ。

IPC (4)：

F16K 21/00 ,  B81B 7/00 ,  F16K 31/00 ,  F16K 25/00

FI (4)：

F16K 21/00 ,  B81B 7/00 ,  F16K 31/00 ,  F16K 25/00

F-Term (7)：

3H062AA15 ,  3H062BB31 ,  3H062CC04 ,  3H062FF41 ,  3H062HH02 ,  3H062HH03 ,  3H062HH10