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J-GLOBAL ID：200903067017797703

欠陥判別方法

Inventor： 西 重幸 ,  吉村 剛治
Applicant, Patent owner： 日立金属株式会社
Agent (1)： 大場 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995272411
Publication number (International publication number)：1997113467
Application date： Oct. 20, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 蛍光浸透による欠陥検査において、画像処理により線状欠陥を確実に判別できる欠陥判別方法を提供する。【解決手段】 画像処理装置において、取り込んだ画像に対して、ワークの輪郭をもとに複数の検査ウインドウとワーク輪郭近似式を算出し、各検査ウインドウ内において、蛍光模様の縦及び横方向の輝度のヒストグラムを求め、各ヒストグラムのピーク波形と予め設定した閾値との交点から特徴量計測ウインドウを設定し、この内部の蛍光模様の特徴量を算出することによって欠陥を判別する。

Claim (excerpt)：

蛍光液を浸透させたワークの表面に紫外光を照射し、該ワーク表面の蛍光模様を撮像して画像信号に変換し、該画像信号を画像処理装置で処理して該ワーク表面の欠陥を判別する欠陥判別方法において、画像信号を記憶する画像メモリについて、ワークの輪郭及び欠陥指示模様を抽出し、該ワーク輪郭をもとに複数の検査ウインドウと、ワーク輪郭近似式を算出して、検査ウインドウ内のワーク輪郭近似式で区分けされたワーク部分を検査範囲とし、検査範囲内において、蛍光模様の縦方向の輝度の和のヒストグラムを求め、該ヒストグラムのピーク波形と予め設定した閾値との交点から、横方向に幅を有する領域を設定し、該領域内の横方向の輝度の和のヒストグラムを求め、該ヒストグラムのピーク波形と予め設定した閾値との交点から縦方向に幅を有する領域を設定し、この領域を各蛍光模様の特徴量計測ウインドウとし、該特徴量計測ウインドウ内の蛍光模様の長さ、幅、傾き、輪郭線からの距離を算出し、予め決めた前記特徴量判別値に照らして欠陥を判別することを特徴とする欠陥判別方法。

IPC (3)：

G01N 21/91 ,  G06T 7/00 ,  G11B 5/127

FI (4)：

G01N 21/91 A ,  G11B 5/127 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 330 N