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J-GLOBAL ID：200903067027036247

振動素子の周波数調整機構

Inventor： 森屋 和文 ,  厚地 健一 ,  持田 洋一 ,  長谷川 友保 ,  田中 克彦
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 五十嵐 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994115898
Publication number (International publication number)：1995301535
Application date： May. 02, 1994
Publication date： Nov. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 振動型ジャイロ等に用いられる微細な半導体振動素子2の共振周波数の微調整を可能とした周波数調整機構を提供する。【構成】 半導体振動素子2の振動梁4に半導体振動素子2の共振周波数調整機構の3本の振動調整梁1を設け、この振動調整梁1の自由先端側に微小間隙を介して調整用固定電極3を対向配置する。調整用固定電極3に電圧を印加する電圧印加手段は調整用固定電極3と接続する。電圧印加手段から例えば調整用固定電極3aに電圧を印加すると、振動調整梁1aが調整用固定電極3aに引き寄せられて接触する。振動調整梁1aの接触により、半導体振動素子2の固定端がOからQへ移り、半導体振動素子2の長さが見かけ上短くなったと同じになり、半導体振動素子2の共振周波数が高くなる。

Claim (excerpt)：

振動素子から1個以上の振動調整梁を異なる位置から突設し、各振動調整梁の自由先端側には微小間隙を介して固定電極を対向配置し、この固定電極に前記振動調整梁の自由先端側を静電力によって接触させる固定電極への電圧印加手段を設けた振動素子の周波数調整機構。

IPC (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84