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J-GLOBAL ID：200903067035045336

オートフォーカス装置の合焦点捜査方法

Inventor： 矢島 正男 ,  東浦 一雄
Applicant, Patent owner： 株式会社三協精機製作所
Agent (1)： 永田 武三郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993223814
Publication number (International publication number)：1994178188
Application date： Aug. 17, 1993
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 オートフォーカス装置を用いた測定装置において、被測定試料のロット内のデータからロットの分散を推定し、このロットのスキャン範囲を狭くして、合焦時間を短くすることである。【構成】 オートフォーカス装置を起動してロット内の所定数の合焦データをメモリする(ステップST10〜ST14)。上記データを統計的に処理しロット内の分散を推定し(ステップST15)、スキャン範囲を設定する(ステップST16)。上記範囲に基づいてオートフォーカスが行なわれる。

Claim (excerpt)：

画像入力装置により試料の画像信号を入力し、所定のスキャン範囲を移動するオートフォーカス装置により、上記入力された画像信号に基づき上記画像入力装置を上記試料に合焦させるに際し、上記試料のロット内の上記合焦された試料の画像信号からそのロット内の分散を推定し、この推定した分散から上記オートフォーカス装置によるロットの上記所定のスキャン範囲を設定することを特徴とするオートフォーカス装置の合焦点捜査方法。

IPC (4)：

H04N 5/232 ,  G01B 11/00 ,  G01C 3/06 ,  G02B 7/28