Pat
J-GLOBAL ID：200903067065222658
光学的測定装置及び光学的測定用アダプター
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
橋爪 健
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998129334
Publication number (International publication number)：1999325856
Application date： May. 12, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 反射防止膜がコーティングされた測定対象物の測定対象面の形状・歪み等の測定を、正確に効果的に行う。【解決手段】 光源部3の発光素子31から出射された測定光束は、レンズ32により平行光束にされ、照射光学系4としてのハーフミラー41で反射される。測定光束は、測定対象面24、即ち測定対象物2と光学的測定用アダプター1の接触材13との接触面、で反射され、その反射光束は、測定光学系5としてのハーフミラー41を透過して、ハルトマン板等の隔板61へ入射される。隔板61を通過した反射光束は、適当な距離に配置された受光素子62に入射され、電気信号に変換され、演算部7により画像情報が取り込まれ、測定対象物2の測定対象面24を再生する処理が実行され、表示部8に表示される。
Claim (excerpt)：
反射防止処理が施された測定対象面を有する測定対象物に対する光学的測定装置であって、測定光束を発する光源部と、容易に変型しない材質からなる光学部材と、一方の面が測定する際に測定対象面と接触されることにより接触前よりも接触後のほうが測定対象面における反射率が増加するような屈折率を有し、他方の面が前記光学部材と接触された接触材と、前記光源部からの測定光束を、前記光学部材及び前記接触材を経て測定対象物の測定対象面に照射する照射光学系と、測定対象面で反射された反射光束を受光する受光部と、前記受光部からの出力信号に基づき測定対象面を測定する演算部とを備えた光学的測定装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
Show all
Return to Previous Page
