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J-GLOBAL ID：200903067066080261
搬送アーム装置及びこれを用いた処理室集合装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
浅井 章弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993314492
Publication number (International publication number)：1995142552
Application date： Nov. 20, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】 占有面積を増加することなく2枚の被処理体を搬送し得るようにした搬送アーム装置を提供する。【構成】 被処理体Wを搬送する搬送アーム装置2において、第1のアーム部8A、8Bと、これに屈曲可能に支持された第2のアーム部10A、10Bと、これに屈曲可能に支持された第3のアーム部12A、12Bとよりなる2つの搬送アームを同一旋回軸上に対称に配置する。そして、上記各第1のアーム部に独立して伸縮駆動系22A、22Bを連結する。また、上記各第3のアーム部に、アーム縮退時に載置されている被処理体または反対側のアーム部12A、12Bとの干渉を避けるために干渉阻止段部44A、44Bを形成する。これにより、2つの被処理体を同時に取り扱うことができるようにして、搬送効率を向上させる。
Claim (excerpt)：
第1のアーム部と、この第1のアーム部に屈曲可能に支持された第2のアーム部と、この第2のアーム部に屈曲可能に支持されると共に先端に被処理体を保持させる第3のアーム部とよりなる2つの搬送アームを、同一旋回軸上にこの旋回中心に対して対称に配置し、前記2つの搬送アームの各第1のアーム部に独立して動作可能な伸縮駆動系を連結し、前記2つの搬送アームの縮退時に、載置された前記被処理体との干渉を避けるために前記各第3のアーム部に干渉阻止段部を形成するように構成したことを特徴とする搬送アーム装置。
IPC (5)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, B25J 17/00
, B25J 19/00
, B65G 49/07
