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J-GLOBAL ID：200903067076712568

走査顕微鏡

Inventor： 柳沢 芳浩 ,  笠貫 有二 ,  森川 有子 ,  松田 宏 ,  河田 春紀 ,  黒田 亮
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 日比谷 征彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992020417
Publication number (International publication number)：1993180653
Application date： Jan. 08, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 探針と試料表面との距離を独立に補正することができ、電気的ノイズを少なくする。【構成】 表面に探針12が設けられている絶縁層13の裏面には、Au電極14、圧電体層15、Au電極16が積層されており、これらのAu電極14、圧電体層15、Au電極16によりZ軸方向駆動素子17を構成している。Au電極16の下層には接地された絶縁層18、Au電極19、絶縁層20、Au電極21、圧電体層22、Au電極23が順次に積層されており、Au電極21、圧電体層22、Au電極23によりZ軸方向変位検出素子24を構成している。

Claim (excerpt)：

第1の圧電体層を圧電体駆動電極層により挟持し、第2の圧電体層を圧電体変位検出電極層により挟持し、これらの間に絶縁層を介してシールド用電極層を介在して積層し、表面に絶縁層を介して探針を設けたカンチレバーユニットを複数個有することを特徴とする走査顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28