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J-GLOBAL ID：200903067080673712

ポジ型感放射線性組成物

Inventor： 妹尾 将秀 ,  田村 一貴 ,  仁王 宏之
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000216050
Publication number (International publication number)：2002031891
Application date： Jul. 17, 2000
Publication date： Jan. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】下記一般式(1)および一般式(2)で示される構造単位を含む重合体、および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素またはシアノ基のいずれかを表し、Aは酸素と3級炭素で結合しており、芳香環を含有する有機基を表す。)【化2】(ここでYは炭素数1から6のアルキル基、水素原子、ハロゲン元素またはシアノ基のいずれかを表し、一般式(1)のXが炭素数1から6のアルキル基であるとき、Bは2級または3級アルコール性ヒドロキシ基を含有する炭素数2から16の有機基を表し、一般式(1)のXがハロゲン元素またはシアノ基のいずれかであるとき、Bは1級、2級または3級アルコール性ヒドロキシ基を含有する炭素数1から16の有機基を表す。)

Claim (excerpt)：

下記一般式(1)および一般式(2)で示される構造単位を含む重合体、および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素またはシアノ基のいずれかを表し、Aは酸素と3級炭素で結合しており、芳香環を含有する有機基を表す。)【化2】(ここでYは炭素数1から6のアルキル基、水素原子、ハロゲン元素またはシアノ基のいずれかを表し、一般式(1)のXが炭素数1から6のアルキル基であるとき、Bは2級または3級アルコール性ヒドロキシ基を含有する炭素数2から16の有機基を表し、一般式(1)のXがハロゲン元素またはシアノ基のいずれかであるとき、Bは1級、2級または3級アルコール性ヒドロキシ基を含有する炭素数1から16の有機基を表す。)

IPC (7)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/16 ,  C08F220/42 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/14 ,  C08L 33/22 ,  H01L 21/027

FI (7)：

G03F 7/039 601 ,  C08F220/16 ,  C08F220/42 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/14 ,  C08L 33/22 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (31)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BF08 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  4J002BG071 ,  4J002EB006 ,  4J002EN136 ,  4J002EQ016 ,  4J002EV296 ,  4J002GP03 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL09P ,  4J100AL09Q ,  4J100AM05P ,  4J100BA02Q ,  4J100BB01P ,  4J100BC43P ,  4J100BC43Q ,  4J100CA04 ,  4J100JA38