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J-GLOBAL ID：200903067094949672
クリーンルーム用ストッカにおけるスタッカ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
斎藤 春弥 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994097002
Publication number (International publication number)：1995277410
Application date： Apr. 12, 1994
Publication date： Oct. 24, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ストッカにおける入出庫時間の短縮と、入出庫口での無人搬送車の拘束時間の短縮によるクリーンルーム内のウェハーカセット等の搬送物品の搬送効率を向上させること。【構成】 クリーンルーム用ストッカにおけるスタッカであって、複数個の搬送物品を載せる荷台6Nを有するスタッカアーム機構6Aを備えて構成した。このスタッカアーム機構6Aは、前方にハンド6h1、6h2を有する上アーム6aと、この上アーム6aを回動自在に支持する支承軸6gを支持する下アーム6bと、この下アームの先端部には上記ハンド6h1、6h2の下方向の対向位置に配置される荷台6Nとを備えて構成することができる。
Claim (excerpt)：
クリーンルーム用ストッカにおけるスタッカであって、複数個の搬送物品を載せる荷台を有するスタッカアーム機構を備えたことを特徴とするクリーンルーム用ストッカにおけるスタッカ。
IPC (3)：
B65G 1/00 521
, B65G 1/04 515
, H01L 21/68
