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J-GLOBAL ID:200903067130832566

セラミック製発熱体およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996306543
Publication number (International publication number):1998148332
Application date: Nov. 18, 1996
Publication date: Jun. 02, 1998
Summary:
【要約】【課題】 セラミック製発熱体の高温化を図るとともに自己温度制御性能を得、しかもセラミックの割れを防ぎ、耐久性を向上し、コスト低減を図る。【解決手段】 窒化ケイ素質の成形体あるいは焼結体31に融点が2000°C以上である高融点金属11を巻付け、これらを窒化ケイ素質の成形体あるいは焼結体とほぼ同材質の窒化ケイ素質粉体30A中に埋設する。1650°Cないし1950°C間の温度と20MPa以上の圧力とでホットプレス焼成を行うことにより、窒化ケイ素質部分の相対密度が96%以上となる窒化ケイ素質焼結体30中に高融点金属11を埋設したセラミック製発熱体12を得る。
Claim (excerpt):
窒化ケイ素質焼結体中に高融点金属を埋設することにより形成するセラミック製発熱体であって、窒化ケイ素質部分の相対密度が96%以上となる窒化ケイ素質焼結体中に、融点が2000°C以上である高融点金属コイルを埋設し、最高温度への到達時のセラミック製発熱体の最高発熱部の円周方向の最大温度差が(たとえば30°C以下というように)小さくなるように構成したことを特徴とするセラミック製発熱体。
IPC (2):
F23Q 7/00 ,  H05B 3/18
FI (2):
F23Q 7/00 V ,  H05B 3/18

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