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J-GLOBAL ID：200903067138134310

液晶素子用ガラス基板の洗浄方法

Inventor： 鈴木 正明
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 渡辺 徳廣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992055985
Publication number (International publication number)：1993224167
Application date： Feb. 07, 1992
Publication date： Sep. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ガラス単基板表面の無機物の汚れを効率よく除去し、又ウェット洗浄時間の短縮、純水の使用量を低減させた液晶素子用ガラス基板の洗浄方法を提供する。【構成】 液晶素子の製造工程におけるガラス単基板上のゴミを除去する洗浄方法において、純水を使用するウエット洗浄の直前に、ガラス単基板の表面に波長が184.9nmと253.7nmの紫外線を大気中にて照射する液晶素子用ガラス基板の洗浄方法。

Claim (excerpt)：

液晶素子の製造工程におけるガラス単基板上のゴミを除去する洗浄方法において、純水を使用するウエット洗浄の直前に、ガラス単基板の表面に波長が184.9nmと253.7nmの紫外線を大気中にて照射することを特徴とする液晶素子用ガラス基板の洗浄方法。

IPC (5)：

G02F 1/13 101 ,  B08B 3/10 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/304 341 ,  H05K 3/26