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J-GLOBAL ID：200903067178354224
パターン検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 祥泰
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994152695
Publication number (International publication number)：1995333169
Application date： Jun. 10, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：
【要約】【目的】 被検査体のパターンに対して均一で高照度の光照射を行なうことができ,被検査体及び板状ライトガイドの熱損傷がなく,正確なパターン検査を行なうことができるパターン検査装置を提供すること。【構成】 被検査体96におけるパターンを光照射するための光照射装置1と,上記パターンを撮像するカメラ部2とを有するパターン検査装置10において,光源用の棒状ランプ11と,該棒状ランプ11の光を上記被検査体96に向けて導出するための板状ライトガイド12と,該板状ライトガイド12と上記棒状ランプ11との間に配置されたコールドフィルター13と,上記棒状ランプ11の後方に配置したコールドミラー14とを有する。
Claim (excerpt)：
被検査体におけるパターンを光照射するための光照射装置と,上記パターンを撮像するカメラ部とを有するパターン検査装置において,上記光照射装置は,光源用の棒状ランプと,該棒状ランプの光を上記被検査体に向けて導出するための板状ライトガイドと,該板状ライトガイドと上記棒状ランプとの間に配置されたコールドフィルターと,上記棒状ランプの後方に配置したコールドミラーとを有することを特徴とするパターン検査装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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