反射防止膜形成用組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩見谷周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997215765
Publication number (International publication number)：1999043594
Application date： Jul. 25, 1997
Publication date： Feb. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】反射防止効果が高く、かつインターミキシングを生じることが無く、エッチレートの高い、解像度及び精度等に優れたレジストパターンを形成しうる反射防止膜形成用組成物を提供する。【解決手段】 (a-1)カルボン酸およびカルボン酸無水物から選ばれる少なくとも1種と、(a-2)多価アルコールとを反応することにより得られる(A)アルキド樹脂と、(B)溶剤とを含有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(a-1)カルボン酸およびカルボン酸無水物から選ばれる少なくとも1種と、(a-2)多価アルコールとを反応することにより得られる(A)アルキド樹脂と、(B)溶剤とを含有することを特徴とする反射防止膜形成用組成物。

IPC (3)：

C08L 67/02 , C09D 5/00 , C09D167/02

FI (3)：

C08L 67/02 , C09D 5/00 M , C09D167/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

多層の薄膜を有する反射防止シート
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-167555 Applicant：大日本印刷株式会社

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