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J-GLOBAL ID：200903067190454153

圧電振動子の電極構造

Inventor： 荒武 潔 ,  白石 政良
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000040031
Publication number (International publication number)：2001230651
Application date： Feb. 17, 2000
Publication date： Aug. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】 大面積の接合が可能な電極構造を有する圧電振動子の提供。【解決の手段】 水晶振動子片110と枠状部100からなる複数の振動子20を形成した水晶ウェハ130上に、それぞれの水晶振動子片110上に形成した一対の励振電極膜80、81と、それぞれの枠状部100上に形成され、一対の励振電極膜80、81と接続された接合膜40、41とからなる複数の電極パターン160を形成し、電極パターン160を金属膜であるショートスパッタ膜70により互いに接続する。

Claim (excerpt)：

【請求項1】 圧電振動子片と、前記圧電振動子片の基端部に一体的に接続されて当該圧電振動子片の周囲を囲む枠状部とを有する圧電振動板と、前記圧電振動子片の両側表面に設けられて前記圧電振動子片を振動させる一対の励振電極と、前記枠状部の上下面に形成され前記励振電極と連結する接合膜と、前記圧電振動板の両面側に、前記圧電振動子片の振動を妨げることなく前記圧電振動子片を前記接合膜を介して気密封止する一対の蓋体とを具備する圧電振動子において、前記個々の独立に配置された一対の励振電極と該励振電極と連結する接合膜からなる電極構造体に、それぞれを短絡する蓋体と接合可能なショート電極を付加することを特徴とする圧電振動子の電極構造。

IPC (3)：

H03H 9/13 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/215

FI (3)：

H03H 9/13 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/215

F-Term (13)：

5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF11 ,  5J108GG03 ,  5J108GG11 ,  5J108GG17 ,  5J108KK04 ,  5J108MM02 ,  5J108MM14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 圧電振動子の電極構造
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-023089   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社