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J-GLOBAL ID：200903067191262630

クリーンルーム用除電装置

Inventor： 水野 彰 ,  澁谷 章 ,  阿部 宏昭 ,  河野 仁志 ,  本田 重夫
Applicant, Patent owner： 水野 彰 ,  株式会社朝日工業社
Agent (1)： 絹谷 信雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991207957
Publication number (International publication number)：1993047488
Application date： Aug. 20, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 クリーンルーム内の除電を効率よく行えることを可能とする。【構成】 超純水を交流高電圧を印加した微小ノズル4から噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯電させてクリーンルームC内の空気に注入することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

超純水を交流高電圧を印加した微小ノズルから噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯電させてクリーンルーム内の空気に注入することを特徴とするクリーンルーム用除電装置。

IPC (2)：

H05F 3/04 ,  H01T 23/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-203976
  
• 特開平2-203976
  
• 特開平2-203976
  
• 特開平2-203976