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J-GLOBAL ID：200903067192774821

固体撮像素子の製造方法

Inventor： 松田 健 ,  東宮 祥哲
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997189353
Publication number (International publication number)：1999040787
Application date： Jul. 15, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】 集光効率向上を図るべく、層間レンズを所望する形状に形成し得るようにした固体撮像装置の製造方法の提供が望まれている。【解決手段】 基体1表層部に形成されて光電変換をなす受光部2と、受光部2から読み出された電荷を転送する電荷転送部3と、基体1上の、電荷転送部3の略直上位置に絶縁膜4を介して設けられた転送電極5とを備えた固体撮像素子15の製造方法である。転送電極5を覆って第1平坦化膜8を形成する工程と、第1平坦化膜8上にプラズマCVD法によって透明材料を成膜する工程と、この透明材料からなる膜9をパターニングして透明材料を、受光部2の直上において上に凸となる凸レンズ状の層内レンズ11とする工程と、層内レンズ11を覆って第2平坦化膜12を形成する工程と、第2平坦化膜12上における受光部2の直上にオンチップレンズ14を形成する工程と、を備えている。

Claim (excerpt)：

基体表層部に形成されて光電変換をなす受光部と、該受光部から読み出された電荷を転送する電荷転送部と、前記基体上の、前記電荷転送部の略直上位置に絶縁膜を介して設けられた転送電極とを備えた固体撮像素子の製造方法において、前記転送電極を覆って第1平坦化膜を形成する工程と、前記第1平坦化膜上にプラズマCVD法によって透明材料を成膜する工程と、前記透明材料からなる膜をパターニングして該透明材料を、前記受光部の直上において上に凸となる凸レンズ状の層内レンズとする工程と、前記層内レンズを覆って第2平坦化膜を形成する工程と、前記第2平坦化膜上における前記受光部の直上にオンチップレンズを形成する工程と、を備えたことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-348565
  
• 特開平4-349664
  
• オンチップレンズの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-158845   Applicant：ソニー株式会社