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J-GLOBAL ID：200903067234933798

溶融シリコンの攪拌方法

Inventor： 花澤 和浩 ,  湯下 憲吉 ,  加藤 嘉英
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 小杉 佳男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996347805
Publication number (International publication number)：1998182138
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】電子ビームを用いてシリコンを溶解しP,Al,Caを除去するシリコン精製の際に、電子ビームを乱したり、スプラッシュの発生を生ずることなく、溶融シリコンを攪拌する。【解決手段】溶融シリコン1を収納した坩堝2にPZTセラミック超音波振動装置3により振動を与え攪拌し、さらに波立ち4を生じさせ、投射ビーム5を効率よく溶融シリコンに作用させる。

Claim (excerpt)：

電子ビームを用いてシリコンを溶解しP,Al,Ca等の不純物を除去するシリコンの精製を行うに当り、シリコン溶湯を保持する容器に超音波振動を付与することを特徴とする溶融シリコンの攪拌方法。

IPC (4)：

C01B 33/037 ,  B01F 11/02 ,  B01J 19/10 ,  H01L 21/208

FI (4)：

C01B 33/037 ,  B01F 11/02 ,  B01J 19/10 ,  H01L 21/208 Z