2軸アクチュエータ及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：磯野道造 , 多田悦夫 , 柏木忍
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005303929
Publication number (International publication number)：2006116696
Application date： Oct. 19, 2005
Publication date： May. 11, 2006
Summary：

【課題】第1方向走査(例えば、水平走査)時には共振駆動が可能であり、第2方向走査(例えば、垂直走査)時には非共振線型駆動が可能な2軸アクチュエータを提供する。【解決手段】2軸アクチュエータは、第1方向にシーソー運動を行うステージ100と、ステージ部から延びた第1駆動櫛形電極120、及び第1支持部から延び、第1駆動櫛形電極120と交互に配置された第1固定櫛形電極220を備えるステージ部駆動部と、第2方向に第1支持部がシーソー運動を行うように支持する第2支持部と、第1支持部に設けられた第2駆動櫛形電極240、及び第2駆動櫛形電極に対応する第2固定櫛形電極350を備える第1支持部駆動部と、を備え、第1駆動櫛形電極120、第2駆動櫛形電極240及びステージ100は、第1レベルに形成されており、第1固定櫛形電極220及び第2固定櫛形電極350は、第1レベルよりも低い第2レベルに形成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

第1方向にシーソー運動を行うステージ部と、前記ステージ部を支持する第1支持部と、前記ステージ部の前記第1方向の対向する両側から外側に延びた第1駆動櫛形電極、及び前記第1駆動櫛形電極と対向する前記第1支持部から延び、前記第1駆動櫛形電極と交互に配置された第1固定櫛形電極を備えるステージ部駆動部と、前記第1方向と直交する第2方向に前記第1支持部がシーソー運動を行うように前記第1支持部を支持する第2支持部と、前記第1支持部に設けられた第2駆動櫛形電極、及び前記第2駆動櫛形電極に対応する第2固定櫛形電極を備える第1支持部駆動部と、を備え、前記第1駆動櫛形電極、前記第2駆動櫛形電極及び前記ステージ部は、第1レベルに形成されており、前記第1固定櫛形電極及び前記第2固定櫛形電極は、垂直面で前記第1駆動櫛形電極及び前記第2駆動櫛形電極と重ならないように前記第1レベルよりも低い第2レベルに形成されていることを特徴とする2軸アクチュエータ。

IPC (3)：

B81B 3/00 , B81C 1/00 , H02N 1/00

FI (3)：

B81B3/00 , B81C1/00 , H02N1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

2-Dアクチュエータ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-358849 Applicant：三星電子株式会社
可変波長光源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-284995 Applicant：アンリツ株式会社
多層自己整列型垂直櫛形ドライブ静電アクチュエータ及びその製造方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-571544 Applicant：オニックスマイクロシステムズインコーポレイテッド

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