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J-GLOBAL ID:200903067275301925

走査ビームの光量制御方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991203189
Publication number (International publication number):1993027277
Application date: Jul. 18, 1991
Publication date: Feb. 05, 1993
Summary:
【要約】【目的】 走査ビームの光量を走査位置によらず一定レベルに保たれる様に走査ビームの光量を制御する。【構成】 AOD2により偏向された偏向ビームLd の光量はセンサ5により計測される。その光量信号Vd のデータに基づいて、CPU11は有効範囲内にある各走査位置における光量信号Vd の極大値の最小値を求め、その最小値に経験値αを乗じた値を与える振幅制御信号Vmを有効範囲内にある各走査位置について求める。これらの振幅制御信号Vm 及び周波数制御信号Vt に基づいて、AOD2の動作は制御される。更にEWS20上において有効範囲外にある各走査位置における振幅制御信号Vm を補正して、走査ビームの光量を高精度で制御できる。【効果】 走査ビームの光量変動を十分に減少させることができる。
Claim (excerpt):
制御信号に応じて光ビームを偏向し、且つその偏向角を変化させる光偏向素子を用いて光ビームを走査する際の走査ビームの光量を制御する方法であって、(a) 前記制御信号の周波数及び振幅を所定の範囲内で変化させて前記走査ビームの光量を計測し、走査ビームの第1の光量データを得るステップと、(b) 前記第1の光量データから、前記周波数に関する前記所定の範囲の内、有効範囲として予め規定された範囲内にある前記制御信号の各周波数毎に前記走査ビームの光量の極大値を求めるステップと、(c) 前記周波数のそれぞれの値について求められた前記光量の極大値のデータの中で最小値となる光量値を求め、当該最小値に所定の定数値を乗じて当該最小値を補正するステップと、(d) 前記有効範囲内にある前記制御信号の各周波数ごとに、前記ステップ(c)により得られた前記補正後の最小値を与える前記制御信号の振幅を、前記ステップ(b)により得られた前記第1の光量データより求めるステップと、(e) 前記ステップ(d)により求められた前記各周波数ごとの前記制御信号の振幅データに基づいて前記光偏向素子を駆動しつつ、前記光ビームを走査するステップ、とを備えた走査ビームの光量制御方法。
IPC (3):
G02F 1/33 ,  G02B 26/10 ,  G03G 15/04 116
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開昭63-175833

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