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J-GLOBAL ID：200903067282143324

インクジェット記録ヘッド及びその製造方法及びその製造装置

Inventor： 越智 教博 ,  久保田 浩司 ,  ▲鶴▼井 康史 ,  金山 義雄 ,  ▲吉▼村 久 ,  入原 絋一
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 川口 義雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994329000
Publication number (International publication number)：1996187586
Application date： Dec. 28, 1994
Publication date： Jul. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】オリフィスプレートにカーボンを付着させずにまたレーザ光によって傷をつけないインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【構成】オリフィスプレート(11)の同一面側で、エキシマレーザ光(22)の照射部位を挟んで両側から酸素ガスの吹き付け(30)と吸引除去(31)を行い、また、内部を空洞にし、表面に空洞に通ずる複数の通気孔を設けたた載物台(26)の上にオリフィスプレートをおき、前記空洞の内部を吸引することによりオリフィスプレートを載物台に固定するインクジェット記録ヘッドの製造方法。

Claim (excerpt)：

インクを吐出するためのオリフィスが配設されたオリフィスプレートと、前記オリフィスからインクを吐出させるための素子を有したヘッド基板とを接合して得られるインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、エキシマレーザ光を照射しながら酸素ガスを吹き付けることで前記オリフィスを形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B23K 26/00 330 ,  B23K 26/14 ,  B41J 2/135