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J-GLOBAL ID：200903067289348835

ウエハの電解装置

Inventor： 武田 泰則
Applicant, Patent owner： 株式会社東設
Agent (1)： 斎藤 侑 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994262260
Publication number (International publication number)：1996124895
Application date： Oct. 26, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ウエハを電解して製造する場合に、普通には電解液中に手等を入れてウエハを出入させると、電解液はアルカリ又は酸であるため有害で危険であった。この発明は作業員が電解液に殆ど触れないで、ウエハをセットでき、かつ電解し、次に再び電解液に触れずにウエハを装置から外し取り、次に再びセットできる、ウエハの電解装置を提供する。【構成】 フレームに軸により電解槽を起倒自在に設け、この電解槽の口部にウエハの載置部を設け、かつ電解槽の蓋体に、前記ウエハを載置部に圧接する圧接装置を設け、更にウエハと載置部との間から電解液が浸出しないように載置部に連続させて空気加圧装置に接続した圧力室を設けた。

Claim (excerpt)：

フレーム1に軸2により起倒自在に設けられた、内部に電極3を有し、かつ蓋体4を有する電解槽5;該電解槽5の開口部6に形成されたウエハの載置部7;前記蓋体4及び電解槽5により構成された電解装置8;該電解装置8に形成された、ウエハを前記載置部7に圧接させる圧接装置9;前記電解槽5と蓋体4間に設けられた緊締装置10;前記電解槽5に、前記電解槽5の倒れた状態において上部となる位置に形成されたガス抜き孔11;前記ウエハに接する、電源に接続された導電部材12;から成ることを特徴とするウエハの電解装置。

IPC (2)：

H01L 21/306 ,  C25F 3/12