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J-GLOBAL ID：200903067292218705

導電性ダイヤモンドの製造方法

Inventor： 平木 昭夫 ,  森 勇介 ,  出口 正洋 ,  北畠 真 ,  平尾 孝
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992033094
Publication number (International publication number)：1993229896
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 導電性ダイヤモンドを製造する方法を提供する。【構成】 ダイヤモンド中に、少なくとも酸素原子を導入する。【効果】 酸素原子をダイヤモンド中に導入することにより、導入領域のダイヤモンドの電子状態は変化し、禁制帯中に不純物準位を形成する。この不純物準位はキャリアを供給する伝導準位として働くので、導入する酸素原子の濃度等を制御することにより、ダイヤモンドの導電性を制御することが可能となる。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド中に、少なくとも酸素原子を導入することを特徴とする導電性ダイヤモンドの製造方法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C01B 31/06 ,  H01L 21/265