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J-GLOBAL ID：200903067308467484

カラー固体撮像素子及びその製造方法

Inventor： 田中 順 ,  杉山 寿 ,  岩柳 隆夫 ,  林 伸明
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993076573
Publication number (International publication number)：1994289217
Application date： Apr. 02, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】スルホニルアジド基を有する色素を含有するフィルタ母材組成物を用いてカラーフィルタを形成することで、カラーフィルタ形成プロセスの裕度を増しかつプロセスを合理化したカラー固体撮像素子、及びそのようなカラー固体撮像素子形成するに改良された製造方法を、それぞれ提供する。【構成】素子表面保護層を設け、前記素子表面保護層上に前記素子受光部に対応した位置に有機膜で保護されたカラーフィルタパターンを配してなるカラー固体撮像素子において、スルホニルアジド基を有する色素を含有するフィルタ母材組成物からカラーフィルタが形成されているカラー固体撮像素子。

Claim (excerpt)：

光電変換を行なう受光部と、前記受光部で発生した電気信号を取り出す走査部と、前記受光部及び走査部を保護するパッシベーション膜とが形成された半導体基板からなる固体撮像素子基板上に、素子表面保護層を設け、前記素子表面保護層上に前記素子受光部に対応した位置に有機膜で保護されたカラーフィルタパターンを配してなるカラー固体撮像素子において、スルホニルアジド基を有する色素を含有するフィルタ母材組成物からカラーフィルタが形成されていることを特徴とするカラー固体撮像素子。

IPC (3)：

G02B 5/20 101 ,  H01L 27/14 ,  C09B 69/00