Pat

J-GLOBAL ID：200903067331758658

半導体単結晶製造装置

Inventor： 平石 吉信 ,  須田 歩 ,  下村 庫一 ,  川畑 光徳
Applicant, Patent owner： コマツ電子金属株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993344979
Publication number (International publication number)：1995172980
Application date： Dec. 20, 1993
Publication date： Jul. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ロードセルを用いた重量式直径制御方法をケーブル方式による結晶引き上げ機構に適用し、直径制御性能が優秀で、かつ安価な半導体単結晶製造装置を提供する。【構成】 第1ガイドプーリ4を軸着するアーム7の一端をロードセル2の荷重印加部に接続し、アーム7の他端に設けた支点7aを中心として前記アーム7が垂直面内で揺動自在、かつ前記第1ガイドプーリ4の中心とアーム7の支点とを結ぶ直線が水平となるようにアーム7を支持する。また、第1ガイドプーリ4から第2ガイドプーリ6に向かうワイヤ5が水平となるように第2ガイドプーリ6を配設し、巻き取りドラム9でワイヤ5を巻き取る。アーム7の支点7aと第1ガイドプーリ4の回動中心との距離をL、第1ガイドプーリ4の半径をR、単結晶重量をW、ロードセル2に作用する荷重をFとすると、F=W×L/(L+R)となり、単結晶重量を正確に測定することができる。

Claim (excerpt)：

ワイヤ巻き取りドラムと、ワイヤを引き上げる際に前記ワイヤを巻き取りドラムにガイドするガイドプーリと、巻き取りドラム駆動手段と、ワイヤを回転させる手段とを備えた結晶引き上げ機構を用いる半導体単結晶製造装置において、結晶引き上げ機構に重量式直径制御用ロードセルを取り付け、一端を前記ロードセルの荷重印加部に接続したアームにガイドプーリを回動自在に軸着し、アームの他端に設けた支点を中心として前記アームが垂直面内で揺動自在、かつ前記ガイドプーリの回動中心と前記アームの支点とを結ぶ直線が水平となるように前記アームを支持するとともに、前記ガイドプーリから巻き取りドラムに向かうワイヤが水平となるように前記巻き取りドラムを設置したことを特徴とする半導体単結晶製造装置。

IPC (4)：

C30B 15/28 ,  C30B 15/30 ,  C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208