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J-GLOBAL ID：200903067333599786

熱線遮断膜

Inventor： 宮崎 正美 ,  安藤 英一
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992266689
Publication number (International publication number)：1993229052
Application date： Sep. 09, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】耐湿性に優れた熱線遮断膜を提供する。【構成】基体1上に酸化物膜2、金属膜3、酸化物膜2、と交互に積層された(2n+1)層(n≧1)の熱線遮断膜において、基体からみて最も離れた酸化物膜4(B)を、Si、B、Ti、Mg、Cr、Sn、Gaのうち少なくとも1種をZnとの総量に対し、1〜10原子%、好ましくは2〜6原子%、ドープした酸化亜鉛膜を少なくとも1層含む膜とする。

Claim (excerpt)：

基体上に酸化物膜、金属膜、酸化物膜、と交互に積層された(2n+1)層(n≧1)からなる熱線遮断膜において、基体から見て、基体から最も離れた金属膜(A)の反対側に形成された酸化物膜(B)は、Si、Ti、Cr、B、Mg、Sn、Gaのうち少なくとも1種をZnとの総量に対し、1〜10原子%ドープした酸化亜鉛膜を少なくとも1層含むことを特徴とする熱線遮断膜。

IPC (3)：

B32B 9/04 ,  B32B 7/02 ,  B32B 15/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-239043
  
• 特開昭63-239044
  
• 特開昭55-016554
  
• 特開昭61-111940