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J-GLOBAL ID：200903067346376085

光化学蒸着方法

Inventor： キャサリン バイイングトン
Applicant, Patent owner： コロラド ステート ユニバーシティー リサーチ ファウンデーション
Agent (1)： 磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992319829
Publication number (International publication number)：1994232046
Application date： Nov. 30, 1992
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 放電領域が発生する紫外線の放射を安定化することによって健全な光化学反応を起こさせ、その結果、薄膜の形成を継続的に実施する。【構成】 放電領域31と反応領域32を下部陽極板41で部分的に仕切り、放電領域31が発生した紫外線60を下部陽極板41に設けた開口40から反応領域32に向かって照射するようにし、また、上部陽極板43の周縁に設けたスリット状の開口46から放電用ガス(矢印47)を放電領域31に供給することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

放電領域に供給した放電用ガスを放電させて短波長の紫外線を発生させ、前記短波長の紫外線を利用して反応領域に供給した原料ガスに光化学反応を起こさせて、基板表面に薄膜を形成する光化学蒸着方法において、環状をした陰極の上下端部に相互に平行に上下の陽極板を離隔配置して放電領域を形成すると共に、下部陽極板を隔てて前記放電領域の下方に反応領域を形成し、上部陽極板の周縁に沿って形成したスリット状の開口から前記放電領域内に放電用ガスを供給すると共に、反応領域を減圧状態に保持し、下部陽極板のほぼ中央部に設けた開口を通って短波長の紫外線を反応領域に放射することを特徴とする光化学蒸着方法。

IPC (2)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/48

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-296440
  
• 特開昭63-229711
  
• 特公昭56-002409