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J-GLOBAL ID：200903067350000880

光ファイバプローブ、その製造方法及び薄膜形成方法

Inventor： 芦野 慎 ,  大津 元一
Applicant, Patent owner： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997262923
Publication number (International publication number)：1999083872
Application date： Sep. 11, 1997
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 光ファイバプローブや光集積回路等が形成されるガラス基材上に平滑な金属薄膜を形成し、特定波長の励起光によって共鳴的に表面プラズモンが励起されるようにする。【解決手段】 光ファイバプローブやガラス基材上にゲルマニウム膜5を成膜した後、この上に金または銀よりなる金属薄膜6を成膜する。成膜法としては、蒸着法等が用いられる。

Claim (excerpt)：

コアの周りにクラッドが設けられてなる光ファイバの一端に、先細り状の先鋭部が形成され、上記先鋭部に、ゲルマニウム膜が形成され、この上に金または銀よりなる金属薄膜が形成されていることを特徴とする光ファイバプローブ。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G02B 6/10 ,  C03C 25/02 ,  C03C 25/04

FI (4)：

G01N 37/00 E ,  G02B 6/10 D ,  C03C 25/02 Z ,  C03C 25/04 A