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J-GLOBAL ID：200903067359810043
露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993023564
Publication number (International publication number)：1994216000
Application date： Jan. 19, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】 露光装置のレンズ系の容器の空気を迅速に不活性なガスによって置換する。【構成】 光源1から発せられたレーザ光L1 は光源レンズ系2、レチクル3および投影レンズ系5を経てウエハ4に照射される。光源レンズ系2のレンズ2a〜2cは容器2dに収容されており、光源1の駆動開始と同時に窒素ガス供給装置8の第1および第2の電磁弁8b,8cが開かれて、大流量の窒素ガスが容器2dの内部空間2f,2gへ供給され、空気と置換される。所定の時間を経過したのち、コントローラ7に設定されたプログラムによって第2の電磁弁8cが閉じられる。これ以後はバイパスライン8dのみにより小流量の窒素ガスが容器2dに供給される。
Claim (excerpt)：
基板に照射される照明光の光路の光学系を収容する容器と、該容器に不活性なガスを供給する給気ラインと、該給気ラインに設けられた開閉弁および流量切換手段と、前記照明光の光源の駆動開始および停止とそれぞれ同期して前記開閉弁を開閉するとともに、前記開閉弁が開かれた後に所定のプログラムに基づいて前記流量切換手段を駆動する制御手段からなる露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
