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J-GLOBAL ID：200903067372124680

固相反応試料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法および荷電粒子ビーム装置

Inventor： 杉山 昌章
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 石田 敬 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000124389
Publication number (International publication number)：2001305028
Application date： Apr. 25, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 固相反応試料の透過電子顕微鏡観察用試料作製方法および荷電粒子ビーム装置を提供する。【解決手段】 本発明の透過電子顕微鏡観察用試料作成方法は、固相反応に関わる試料の透過電子顕微鏡観察用試料を集束荷電粒子ビーム加工するにあたり、荷電粒子ビーム照射を伴う反応ガスの放出により試料の観察部位に小型熱電対を固定し、試料を加熱しつつ該観察部位の温度と荷電粒子像を観察し、所望の温度もしくは反応状況になったときに冷却ガスを吹き付けて高温状態を凍結した後に、観察部位を集束荷電粒子ビーム加工により摘出することを特徴とする。また、本発明の荷電粒子ビーム装置は、加熱手段と小型熱電対とを有する試料ステージ、該小型熱電対を移動させるためのマニピュレータ、該小型熱電対を試料に固定するための反応ガス源および急冷のための冷却ガス源を備えたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

固相反応に関わる試料の透過電子顕微鏡観察用試料を集束荷電粒子ビーム加工する透過型電子顕微鏡観察用試料の作成方法であって、荷電粒子ビーム照射を伴う反応ガスの放出により試料の観察部位に小型熱電対を固定し、試料を加熱しつつ該観察部位の温度と荷電粒子像を観察し、所望の温度もしくは反応状況になったときに冷却ガスを吹き付けて該観察部位の高温状態を凍結した後に、該観察部位を集束荷電粒子ビーム加工により摘出することを特徴とする透過電子顕微鏡観察用試料作製方法。

IPC (7)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/317 ,  G01N 23/04 ,  G01N 33/20

FI (8)：

G01N 1/32 B ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/317 D ,  G01N 23/04 ,  G01N 33/20 Q ,  G01N 1/28 K ,  G01N 1/28 G

F-Term (26)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001GA06 ,  2G001GA17 ,  2G001HA13 ,  2G001KA09 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  2G001PA12 ,  2G001PA14 ,  2G001RA02 ,  2G001RA03 ,  2G001RA04 ,  2G001RA20 ,  2G055AA07 ,  2G055BA04 ,  2G055CA18 ,  2G055FA10 ,  5C001BB01 ,  5C001BB02 ,  5C001CC07 ,  5C034DD09