データ解析方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：酒井昭徳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001338185
Publication number (International publication number)：2003142361
Application date： Nov. 02, 2001
Publication date： May. 16, 2003
Summary：

【要約】【課題】不良要因等の抽出のためにデータ解析をおこなうにあたって、技術者の主観によらずに不良要因等の抽出を効率よく自動的におこなうこと。【解決手段】オリジナルデータ群の中から解析の対象とするデータ、たとえば歩留り値や各種測定値等を選択して抽出する(ステップS1)。抽出したデータに対して1以上のデータ分布特徴を抽出する(ステップS2)。その中から解析対象とするデータ分布特徴量を選択し、それを目的変数として回帰木分析等のデータマイニングをおこなう(ステップS3)。抽出したすべてのデータ分布特徴について回帰木分析が終了したら(ステップS4)、分析結果を出力し、それを技術者が確認して(ステップS5)、意思決定をおこなう(ステップS6)。

Claim (excerpt)：

オリジナルデータ値を編集して前記オリジナルデータ群内に存在する1以上のデータ分布特徴量を定量的に評価して抽出する工程と、抽出された前記データ分布特徴量の中から任意のデータ分布特徴量を選択して解析をおこなう工程と、得られた解析結果に基づいて意思決定をおこなう工程と、を含んだことを特徴とするデータ解析方法。

IPC (3)：

H01L 21/02 , G06F 17/18 , G06F 19/00 130

FI (3)：

H01L 21/02 Z , G06F 17/18 Z , G06F 19/00 130

F-Term (1)：

5B056BB61

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

データ解析装置およびデータ解析方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-284578 Applicant：富士通株式会社

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