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J-GLOBAL ID：200903067396265780
ウエーハ剥がし装置の制御装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992087883
Publication number (International publication number)：1993253834
Application date： Mar. 11, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 ウェーハ貼付プレートから研磨完了ウェーハを剥がしてキャリヤに装填する作業を自動的に行うウェーハ剥がし装置の制御装置を提供する。【構成】 ウェーハ貼付プレート搬送機構の駆動、プレート回転台21の上昇、アームの昇降を規制する各リミットスイッチ41,48,74,76およびこれらのリミットスイッチの作動のフィードバック回路と、ウェーハ貼付プレート1に設けた基準点1a、ウェーハ貼付プレート1上のウェーハ3の位置およびウェーハの有無、ハンド下降位置を検出する各センサ22,60,67およびこれらのセンサによる検出結果のフィードバック回路と、前記の各入力情報に基づいて、プレート回転台21の昇降および回転、アームの旋回および昇降、ハンド開閉シリンダの駆動を行う各モータ47,52,58,66,73の駆動回路に制御信号を出力するコンピュータ44とによって制御装置を構成する。
Claim (excerpt)：
ウェーハ貼付プレートをウェーハ剥がし機構に送るウェーハ貼付プレート搬送機構と、ウェーハ貼付プレートを載置して回転するプレート回転台と、昇降および旋回するアームの先端に開閉自在のハンドとを備えたウェーハ剥がし機構と、ウェーハ搬送ベルトと、キャリヤ昇降手段とを備えたウェーハ装填機構と、前記ウェーハ貼付プレート搬送機構、ウェーハ剥がし機構、ウェーハ装填機構に対する制御装置とからなるウェーハ剥がし装置において、ウェーハ貼付プレート搬送機構の駆動、プレート回転台の上昇、アームの昇降を規制する各リミットスイッチおよびこれらのリミットスイッチの作動をフィードバックする回路と、ウェーハ貼付プレートに設けた基準点、ウェーハ貼付プレート上のウェーハの位置およびウェーハの有無、ハンド下降位置を検出する各センサおよびこれらのセンサによる検出結果をフィードバックする回路と、前記の各入力情報に基づいて、プレート回転台の昇降および回転、アームの昇降および旋回、ハンド開閉シリンダの駆動を行う各モータの駆動回路に制御信号を出力するコンピュータとによって構成されることを特徴とするウェーハ剥がし装置の制御装置。
IPC (2)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
