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J-GLOBAL ID：200903067412229064

電子源

Inventor： 林 啓三 ,  錦見 敏朗
Applicant, Patent owner： 日新ハイボルテージ株式会社
Agent (1)： 中沢 謹之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996089896
Publication number (International publication number)：1997243800
Application date： Mar. 06, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 電子線照射幅に渡って電子線照射量の均一化を図り、また、線状フィラメント全体としての電子の引き出し効率を高め、線状フィラメントを長寿命化することのできる電子源を提供すること。【解決手段】 熱電子を発生させるための線状フィラメント2をx-y平面上のy方向に、つまり電子線の照射幅方向に一定の間隔を設けて複数配列し、複数列に配列された線状フィラメント2の配列間に線状フィラメント2と並行して棒状の電子引き出し電極21を配置し、この電子引き出し電極21に線状フィラメント電位に印加される負の電位に対して正の電位を印加して、線状フィラメント2の全方位の電界強度を均一化して、電子線の照射幅方向に照射分布の均一化を図る。

Claim (excerpt)：

平面上に所定の間隔で複数配列された線状フィラメントを有する電子源において、前記線状フィラメントの配列間に、前記線状フィラメントと並行して棒状の電子引き出し電極を配置したことを特徴とする電子源。

IPC (3)：

G21K 5/04 ,  G21K 1/00 ,  H01J 37/063

FI (3)：

G21K 5/04 E ,  G21K 1/00 E ,  H01J 37/063