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J-GLOBAL ID：200903067441098670

ウェーハ研磨装置

Inventor： 茂木 克己 ,  梶原 治郎 ,  遠藤 修
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997001731
Publication number (International publication number)：1998193253
Application date： Jan. 08, 1997
Publication date： Jul. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ウェーハ研磨装置において、研磨するウェーハが少なくてもダミーが不要で、ウェーハを保持いないヘッドと研磨パッドとの接触を防止すること。【解決手段】 研磨パッド23が貼付されたプラテン22と、ウェーハWの一面を保持して他面を研磨パッドに当接させる複数のウェーハ保持ヘッド27と、ウェーハ保持ヘッドをプラテンに対し相対運動させて研磨パッドでウェーハ他面を研磨するヘッド駆動機構26とを具備し、ウェーハ保持ヘッドは、ウェーハを保持するキャリア30と、キャリアを内部に配するヘッド本体28と、キャリアとヘッド本体との間に張られるダイアフラム29と、ダイアフラム、キャリアおよびヘッド本体間の流体室36の流体圧力を調整する圧力調整機構とを備え、圧力調整機構は、流体室を加圧にする加圧手段37と、流体室を負圧にする負圧手段38と、これらと流体室との接続を切り替える圧力切替手段Cとを備えている。

Claim (excerpt)：

表面に研磨パッドが貼付されたプラテンと、研磨すべきウェーハの一面を保持して前記研磨パッドにウェーハの他面を当接させる複数のウェーハ保持ヘッドと、これらウェーハ保持ヘッドを前記プラテンに対し相対運動させることにより前記研磨パッドでウェーハ他面を研磨するヘッド駆動機構とを具備し、前記ウェーハ保持ヘッドは、前記ウェーハの一面を保持するための円盤状のキャリアと、円筒状に形成され前記キャリアをほぼ同心上にかつ内部に配し内周面で該キャリアを支持するヘッド本体と、前記キャリアと前記ヘッド本体との間に張られこれらを連結するダイアフラムと、該ダイアフラム、前記キャリアおよび前記ヘッド本体の間に形成される流体室に満たされた流体圧力を調整する圧力調整機構とを備え、該圧力調整機構は、前記流体室に接続され該流体室を加圧状態にする加圧手段と、前記流体室に接続され該流体室を負圧状態にする負圧手段と、前記加圧手段と前記負圧手段とに接続されこれらと前記流体室との接続を切り替えて該流体室の圧力を選択的に加圧状態または負圧状態にする圧力切替手段とを備えていることを特徴とするウェーハ研磨装置。